renishaw激光干涉儀可用于數控機床、大規模集成電路加工設備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的特點(diǎn)是在具有強大的排除干擾能力的情況下還具有非常高的精度，其分辨率可以達到納米級，從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度。

　　

　　與傳統的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時(shí)處理數據，為數控機床誤差修正提供依據。激光干涉儀與不同光學(xué)附件結合，可以測量距離、直線(xiàn)度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結構，安裝位置靈活，便于分析機床誤差來(lái)源：而且測量時(shí)可以在工作部件運動(dòng)過(guò)程中自動(dòng)采集數據，更接近機床的實(shí)際使用狀態(tài)。

　　

　　位置精度是機床的重要指標，目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。因此，用激光干涉儀檢測機床各項誤差是一種用傳統測量手段難以實(shí)現的技術(shù)。

　　

　　renishaw激光干涉儀在數控機床的應用

　　

　　一、直線(xiàn)度測量

　　

　　1、沿水平軸直線(xiàn)度測量，激光器發(fā)射出的光束穿過(guò)中間的直線(xiàn)度干涉鏡，分為兩束同頻的光源，通過(guò)直線(xiàn)度反射鏡反射匯聚到干涉鏡，再返回激光器。此種測量方法，可以檢測出干涉的光波在直線(xiàn)度干涉鏡移動(dòng)的方向上產(chǎn)生多少偏差，可以用來(lái)調試設備。

　　

　　2、沿垂直軸直線(xiàn)度測量，將激光干涉儀水平光束轉換成垂直光束。

　　

　　二、線(xiàn)性測量

　　

　　renishaw激光干涉儀是高精度的線(xiàn)性位移測量?jì)x器，其光波可以直接對米進(jìn)行定義，可以定位精度、重復定位精度、反向間隙等多項檢測機床軸的精度指標，需要用到一個(gè)各線(xiàn)性分光鏡和兩個(gè)線(xiàn)性反射鏡。

　　

　　新機床大多使用激光干涉儀進(jìn)行定位精度和重復定位精度以及反向間隙的檢測，機床使用一段時(shí)間后，由于絲杠的磨損和其它原因，精度會(huì )逐漸喪失，也需要使用renishaw激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準。